Универсальная технологическая платформа плазмохимического травления и осаждения
4
р.
р.
Цель проекта: Создание нового современного облика отечественного технологического оборудования для нано- и микроэлектроники на примере универсальной технологической платформы плазмохимического травления и осаждения.
Задачи проекта: Отойти от дизайна «советского типа». Разработать современный дизайн универсальной платформы, отражающий её позиционирование как актуального технического решения класса hi-tech с параметрами на уровне лучших зарубежных аналогов.
Новый дизайн платформы должен отражать ключевые востребованные в промышленном оборудовании черты - функциональность, минимализм, технологичность, учитывая при этом доступные методы его производства.