Универсальная технологическая платформа плазмохимического травления и осаждения

Цель проекта:
Создание нового современного облика отечественного технологического оборудования для нано- и микроэлектроники на примере универсальной технологической платформы плазмохимического травления и осаждения.

Задачи проекта:
Отойти от дизайна «советского типа». Разработать современный дизайн универсальной платформы, отражающий её позиционирование как актуального технического решения класса hi-tech с параметрами на уровне лучших зарубежных аналогов.

Новый дизайн платформы должен отражать ключевые востребованные в промышленном оборудовании черты - функциональность, минимализм, технологичность, учитывая при этом доступные методы его производства.